బోరాన్ 11 ట్రైక్లోరైడ్ సెమీకండక్టర్ డోపాంట్ సెమీకండక్టర్ డ్రై ఎచింగ్
ఉత్పత్తి పరిచయం
సాధారణ ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం వద్ద, బోరాన్ ట్రైక్లోరైడ్ (BCL 3 ) రంగులేని పొగ వాయువు, ఇది మండే, తీవ్రమైన, ఆమ్ల వాసన. బోరాన్ ట్రైక్లోరైడ్ హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం మరియు బోరిక్ ఆమ్లంగా కుళ్ళిపోతుంది మరియు నీటితో చాలా వేడి ఎన్‌కౌంటర్‌ను విడుదల చేస్తుంది, ఇది జలవిశ్లేషణ కారణంగా తడి గాలిలో పొగను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, మరియు Bcl 3 హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం మరియు బోరిక్ యాసిడ్ ఈస్టర్‌లో ఆల్కహాల్ లో కుళ్ళిపోతుంది. బోరాన్ ట్రైక్లోరైడ్ బలమైన ప్రతిచర్య సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంది మరియు వివిధ రకాల సమన్వయ సమ్మేళనాలను ఏర్పరుస్తుంది. బోరాన్ ట్రైక్లోరైడ్ వేడిచేసినప్పుడు గాజు మరియు సిరామిక్‌తో స్పందించగలదు, మరియు ఇది అనేక సేంద్రీయ సమ్మేళనాలతో స్పందించి వివిధ రకాల ఆర్గానోబోరాన్ సమ్మేళనాలను ఏర్పరుస్తుంది. అధిక స్వచ్ఛత బోరాన్ 11 ట్రైక్లోరైడ్ ప్రధానంగా (సిలికాన్) సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీ ప్రక్రియలో విస్తరణ డోపింగ్ కోసం ఉపయోగించబడుతుంది. బోరాన్ మలినాలు Bcl 3 యొక్క కుళ్ళిపోవటం ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడతాయి మరియు సిలికాన్ వైపు వ్యాప్తి చెందుతాయి, అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద P- రకం సెమీకండక్టర్‌ను ఏర్పరుస్తాయి. BCL 3 ను అల్, మోసి 2 , టాసి 2 , టిసి 2 , డబ్ల్యుఎస్ఐ మరియు ఇతర పదార్థాల పొడి ఎచింగ్ కోసం కూడా ఉపయోగించవచ్చు .
నాణ్యత స్పెసిఫికేషన్
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
అప్లికేషన్
బోరాన్ ట్రైక్లోరైడ్ అధిక స్వచ్ఛమైన బోరాన్, సేంద్రీయ సంశ్లేషణ కోసం ఉత్ప్రేరకం, సిలికేట్ కుళ్ళిపోవడానికి ఫ్లక్సింగ్ ఏజెంట్ తయారీకి ఉపయోగించవచ్చు మరియు ఇది అల్లాయ్ రిఫైనింగ్‌లో డియోక్సిడైజర్, నైట్రైడ్లు మరియు కార్బైడ్ల సంకలితంగా కూడా ఉపయోగించబడుతుంది. అధిక స్వచ్ఛమైన బోరాన్ 11 ట్రైక్లోరైడ్ ప్రధానంగా డిఫ్యూజన్ డోపింగ్, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్, డ్రై ఎచింగ్ మరియు సెమీకండక్టర్ పరికరాలు మరియు ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీలో ఇతర ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది.
ప్యాకేజింగ్ మరియు నిల్వ
బోరాన్ 11 ట్రైక్లోరైడ్ సిలిండర్‌లో నిండి ఉంటుంది. బోరాన్ 11 ట్రైక్లోరైడ్‌తో నిండిన సిలిండర్ GB14193 యొక్క సంబంధిత నిబంధనలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. ప్యాకేజింగ్ స్పెసిఫికేషన్లలో 10 ఎల్ మరియు 47 ఎల్ ఉన్నాయి. ఉత్పత్తి నీడ, పొడి మరియు వెంటిలేటెడ్ స్టోర్ రూమ్‌లో 60 asould కంటే తక్కువ . సూర్యుడికి బహిర్గతం చేయడం నిషేధించబడింది మరియు ఉష్ణ వనరుల నుండి దూరంగా ఉంటుంది. ప్యాకేజీని మూసివేయాలి మరియు దీనిని క్షార మరియు ఇతర ప్రమాదకర వ్యాసాలతో విడిగా నిల్వ చేయాలి.
Contact Now
